글로벌 반도체 장비·부품 유통 전문기업 서플러스글로벌(대표 김정웅)이 반도체 제조 공정의 핵심 기술인 ALD(원자층 증착) 공정과 AI 기반 장비 진단 기술 관련 국내 특허 3건을 등록하며 반도체 장비 업사이클링 분야 경쟁력 강화에 나섰다.

서플러스글로벌은 최근 △ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 △ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 △웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템 등 총 3건의 특허 등록을 완료했다고 밝혔다.

이번 특허는 단순한 중고 장비 거래를 넘어 기존 장비의 성능과 활용 가치를 향상시키는 ‘장비 업사이클링(Upcycling)’ 기술 확보라는 점에서 의미가 크다.

공정 안정성 높이는 ALD 실링 기술 확보

첫 번째 특허인 ‘ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법’은 반응기 내부 압력을 안정적으로 제어해 공정 신뢰성을 향상시키는 기술이다.

반응기 상부와 하부 영역 간 압력 차이를 정밀하게 관리해 공정 중 발생할 수 있는 압력 불균형을 최소화하도록 설계됐으며, 장비 개방과 유지보수, 재가동 과정에서 발생 가능한 위험 요소를 줄여 장비의 재사용성과 운용 안정성을 높일 수 있을 것으로 기대된다.

AI 기반 밸브 진단으로 예방정비 구현

‘ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템’ 특허는 AI 기술을 활용해 반도체 장비 내 핵심 부품인 밸브 상태를 실시간으로 분석하는 기술이다.

밸브의 개폐 동작과 압력, 유량 데이터를 종합적으로 분석해 이상 징후를 조기에 감지하고 향후 상태까지 예측할 수 있도록 설계됐다.

이를 통해 장비 고장을 사전에 예방하고 예방정비 체계를 고도화하는 것은 물론 주요 부품의 수명 연장과 운영 효율 향상에도 기여할 것으로 전망된다.

웨이퍼 정렬 감지 기술로 생산성 향상

‘웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템’ 특허는 웨이퍼 이송 및 적재 과정에서 발생할 수 있는 정렬 오류를 실시간으로 감지하는 기술이다.

비전 센서를 활용해 웨이퍼 위치와 정렬 상태를 정밀하게 분석함으로써 이송 과정에서 발생하는 정렬 불량을 조기에 발견할 수 있으며, 이를 통해 장비 재가동 시 생산성과 품질 안정성을 높이는 데 도움이 될 것으로 기대된다.

장비 거래에서 기술 중심 업사이클링 기업으로 도약

서플러스글로벌은 그동안 중고 반도체 장비 거래와 리퍼비시(Refurbish), 기술 서비스를 수행하며 장비 운용과 유지보수, 공정 안정화 관련 기술 역량을 꾸준히 축적해 왔다.

특히 용인 반도체 장비 클러스터를 기반으로 장비 평가와 공정 검증, 기술 지원, 교육 서비스를 운영하고 있으며 이번 특허 역시 현장 경험과 연구개발 역량이 결합된 결과물이라는 평가를 받고 있다.

회사는 이번 특허 등록을 통해 단순 장비 유통기업을 넘어 장비 상태를 진단하고 성능을 개선해 새로운 가치를 창출하는 기술 기반 반도체 장비 업사이클링 기업으로 사업 영역을 확대해 나간다는 계획이다.

또한 ALD 공정 안정화 기술과 AI 기반 장비 진단 기술을 식각(Etch) 공정 장비 분야까지 확대 적용하고 향후 주요 레거시 반도체 장비 전반으로 지능형 솔루션을 확대할 방침이다.

“장비 재가치화 통해 지속가능한 반도체 생태계 구축”

김정웅 서플러스글로벌 대표는 “반도체 장비 업사이클링은 단순히 중고 장비를 재사용하는 것이 아니라 장비 상태를 정확히 진단하고 성능과 활용 가치를 높여 산업 생태계 안에서 다시 활용되도록 하는 과정”이라며 “이번 특허 등록은 장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 동시에 강화하는 중요한 계기가 될 것”이라고 말했다.

이어 “확보한 ALD 및 AI 기반 장비 진단 기술을 식각 공정 장비 영역으로 확대 적용하고 있으며 향후 주요 레거시 공정 장비 전반으로 지능형 솔루션을 확대하는 것이 목표”라고 밝혔다.

한편, 2000년 설립된 서플러스글로벌은 반도체 전공정·후공정 장비 및 부품 유통 전문기업으로 한국 본사를 비롯해 미국, 중국, 대만, 일본, 독일, 싱가포르 등 글로벌 네트워크를 운영하고 있다. 또한 반도체 장비·부품 거래 플랫폼 ‘세미마켓(SemiMarket)’을 통해 반도체 자산 거래의 디지털 전환을 추진하며 글로벌 반도체 공급망의 효율성과 지속가능성 향상에 주력하고 있다.